پمپ خلاء

پمپ‌های خلأ، با اتاقک‌ها و روش‌های عملیاتی گوناگون خود می‌توانند طیف گسترده‌ای از سیستم‌های ایجاد خلأ را به وجود آورند. گاهی اوقات برای انجام کار مشخصی از بیش از یک پمپ استفاده می‌شود و این پمپ‌ها می‌توانند به صورت سری یا موازی در یک برنامهٔ واحد استفاده شوند. با استفاده از یک پمپ جابجایی مثبت که مقداری گاز را از دهانهٔ ورودی به کانال خروجی (اگزوز) منتقل می‌کند می‌توان یک خلاء جزئی، و یا خلاء تقریبی ایجاد کرد. به دلیل محدودیت‌های مکانیکی، این گونه پمپ‌ها تنها می‌توانند خلأ محدودی ایجاد کنند. برای رسیدن به یک خلاء بالاتر، می‌توان از روش‌های دیگر و گاهی هم افزودن پمپ‌های دیگری به صورت سری استفاده کرد دستیابی به خلأ بالا کار دشواری است زیرا همهٔ مواد زمانی که در معرض خلأ قرار گیرند کم و بیش به شکلی واکنش نشان می‌دهند. تبخیر، آزاد شدن گازهای قبلاً جذب شده (جذب سطحی) و دیگر پدیده‌ها خلأ ایجاد شده را پر کرده و از رسیدن به میزان خلأ دل‌خواه جلوگیری می‌کنند. معمولاً تمام سطحی که با خلأ در تماس هستند باید از موادی که در دمای بالا پخته شده باشند تهیه شوند تا از میزان این گازها بکاهند.